X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測(cè)樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有**的能量特性或波長(zhǎng)特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來(lái)的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類(lèi)及含量。

近年來(lái)，X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個(gè)領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測(cè)領(lǐng)域應(yīng)用得多也廣泛。 　　大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測(cè)量范圍寬、干擾小的特點(diǎn)

X熒光光譜儀基本原理

X射線是一種波長(zhǎng)（λ＝0.001～10nm）很短的電磁波，其波長(zhǎng)介于紫外線和y射線之間。在高真空的X射線管內(nèi)，當(dāng)由幾萬(wàn)伏高電壓加速的一束高速運(yùn)動(dòng)的電子流投射到陽(yáng)極金屬靶（如鎢靶、銅靶等）上時(shí)，電子的動(dòng)能部分轉(zhuǎn)變成X光輻射能，并以X射線形式輻射出來(lái)。從金屬靶射出的X射線主要由兩類(lèi)波長(zhǎng)、強(qiáng)度不等的X射線組成，即連續(xù)X射線譜及特征X射線譜。前者指在X射線波長(zhǎng)范圍內(nèi)，由其短波限開(kāi)始并包括各種X射線波長(zhǎng)所組成的光譜。后者則指當(dāng)加于X光管的高電壓增至一定的臨界數(shù)值時(shí)，使高速運(yùn)動(dòng)的電子動(dòng)能足以激發(fā)靶原子的內(nèi)層電子時(shí)，便產(chǎn)生幾條具一定波長(zhǎng)且強(qiáng)度很大的譜線，并疊加在連續(xù)X射線譜上，由特征X射線組成的光譜稱為特征X射線譜。

特征X射線譜源自原子內(nèi)層電子的躍遷。當(dāng)高速運(yùn)動(dòng)的電子激發(fā)原子內(nèi)層電子，而導(dǎo)致X射線的產(chǎn)生，這種X射線稱為“初級(jí)X射線"。若以初級(jí)X射線為激發(fā)手段，用以照射寶石樣品，會(huì)造成寶石的原子內(nèi)的電子發(fā)生電離，使內(nèi)層軌道的電子脫離原子，形成一個(gè)電子空位，原子處于“激發(fā)態(tài)"，這樣外層電子就會(huì)自動(dòng)向內(nèi)層躍遷，填補(bǔ)內(nèi)層電子空位，進(jìn)而發(fā)射出一定能量的X射線。由于它的波長(zhǎng)和能量與原來(lái)照射的X射線不同，即發(fā)出“次級(jí)X射線"。人們將這種由于X射線照射寶石而產(chǎn)生的次級(jí)X射線稱X射線熒光。通常，X射線熒光只包含特征X射譜線，而缺乏連續(xù)X射線譜。

當(dāng)能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線與原子發(fā)生碰撞時(shí)，驅(qū)逐一個(gè)內(nèi)層電子而出現(xiàn)一個(gè)空穴，使整個(gè)原子體系處于不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài)，激發(fā)態(tài)原子壽命約為10-12～10-14秒，然后自發(fā)地由能量高的狀態(tài)躍遷到能量低的狀態(tài)。這個(gè)過(guò)程稱為弛豫過(guò)程。弛豫過(guò)程既可以是非輻射躍遷，也可以是輻射躍遷。當(dāng)較外層的電子躍遷到空穴時(shí)，所釋放的能量隨即在原子內(nèi)部被吸收而逐出較外層的另一個(gè)次級(jí)光電子，此稱為俄歇效應(yīng)，亦稱次級(jí)光電效應(yīng)或無(wú)輻射效應(yīng)，所逐出的次級(jí)光電子稱為俄歇電子。它的能量是特征的，與入射輻射的能量無(wú)關(guān)。當(dāng)較外層的電子躍入內(nèi)層空穴所釋放的能量不在原子內(nèi)被吸收，而是以輻射形式放出，便產(chǎn)生X射線熒光，其能量等于兩能級(jí)之間的能量差。因此，X射線熒光的能量或波長(zhǎng)是特征性的，與元素有一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系。圖2-2-1給出了X射線熒光和俄歇電子產(chǎn)生過(guò)程示意圖。